SBS 燕山石化橡胶SBS4402

具有温敏特性的薄膜，在机械工程、生物医药以及集成电路等方面具有广泛的应用前景。可以作为以上各个领域温度敏感探针，能够适时的监测到被测物体的热信息。用Layer-by-Layer的方法，利用这几种方法得到均匀薄膜，衬底、机器和墨水必须完美匹配。对于特定的衬底和机器来说，通常只有一种墨水与它们有佳的匹配性。一旦衬底参数、机器参数有一点变化，人们就需要重新调整墨水的动力学性质。这是一个工程量非常大的工作。第二，因为目前人们还不能调配出性能优异的铜纳米线和金纳米线墨水，也就没法通过这几种方式加工出基于这两种纳米线的应用尺寸的透明导电薄膜。第三，这几种方法不能在弯曲或者凹陷的衬底上使用。为了解决这些问题，人们引入了静电纺丝的加工方法。静电纺丝通过高分子在高压下拉伸成丝，然后在衬底以收集的方式形成薄膜。因为是干丝收集，所以对于不同的机器、衬底可以使用同一种纺丝溶液。采用多针头模式，人们可以在弯曲或者凹陷的衬底上制备导电薄膜。纺丝溶液含有高分子，而高分子可以稳定铜纳米线和金纳米线，因而通过静电纺丝也可以制备金/铜纳米线透明导电薄膜。

利用静电纺丝制备透明导电薄膜是一个很有前景的方式。高分子会极大降低薄膜的导电性和透过率。因此，在静电纺丝制备透明导电薄膜的过程中，人们的工作重点就在于如何避免高分子影响薄膜性能。但是目前人们还没有发现容易处理的高分子，这导致人们不得不采用复杂的制备过程或者使用高温来解决高分子的问题，而不能直接将银纳米线和高分子一起静电纺丝制备透明导电薄膜。目前制备的氧化铝薄膜为了防止后续高温处理过程中-oh基团释放的h2将钝化膜破坏，采取的措施是使氧化铝薄膜的-oh基团的含量很少，但是也导致了硅片表面的钝化效果不是很好。cn102560419a公开了一种氧化铝超薄薄膜的制备方法，所述制备方法以脉冲方式依次进源、利用自限制吸附效应制备得氧化铝超薄薄膜材料；其制备方法基于原子层沉积系统实现；然而其制备得到的氧化铝薄膜并不能在保证硅片表面的钝化效果的同时不破坏钝化膜。因此，在本领域中如果既能够保证硅片表面的钝化效果，又不会在后续高温处理过程中释放过多的h2而破坏钝化膜，是本领域亟待解决的技术问题。技术实现要素：针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种氧化铝薄膜及其制备方法和应用。本发明的制备方法能够使得制备得到的氧化铝薄膜具有双层结构，底层膜含有大量-oh基团，在后续高温处理过程中，释放出h钝化硅片表面的悬挂键。外层氧化铝薄膜含有较少的-oh基团，不会在高温处理过程中释放太多的h2，不会造成钝化膜层的损坏。

随着时代发展，薄膜材料科学领域发展迅速，对于材料各方面性能也要求越来越高，薄膜生产条件也越来越苛刻，生产过程中的温度条件、风量条件、拉伸条件都会影响着薄膜产品的终性能，为了将产品达到佳性能，对设备提出更高的要求。

现有实验烘箱有鼓风高温的、低温烘干的、还有带真空的烘箱。然而有拉伸功能的烘箱比较少，而且温度不会很高；在高温拉伸过程中会出现受力不均导致膜褶皱现象，无法模拟产线生产情况。