沉积时，硅烷前驱体充当反应气体，反应过程中产生的h2会存在于基底与非晶硅薄膜的界面之间无法逸出，使得非晶硅薄膜在界面处形成凸起并引起剥落，导致a-si薄膜与基底之间的粘附性降低，进而造成图案化过程中硬掩模产生图案偏移，终导致图案无法转移，影响产品良率。

因此，亟需对目前非晶硅薄膜的制备工艺进行改进，以克服上述种种问题。

需注意的是，前述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本发明的背景理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

为确保生成的聚合物具有良好的颗粒形态和较高的密度，使反应器的操作性得到改善，多将催化剂组分负载于形态好、强度适中的无机氧化物如氧化硅或氧化铝上，以得到颗粒形态良好、机械磨损强度较高及活性适当的聚乙烯催化剂。但受载体孔结构及待负载组分溶解能力等因素限制，催化剂组分在载体上的有效负载量都不高，这就使得负载型催化剂表现出的聚合活性比非负载型或均相型聚乙烯催化剂的更低。

为了深入研究新的载体/催化剂/助催化剂体系，有必要尝试不同的载体，制备催化性能更优的聚乙烯催化剂以改善乙烯聚合过程中的原料转化率及催化效率，进而改善制得的聚乙烯产品的外观形貌及加工流动性，推动载体催化剂和聚烯烃工业的进一步发展。

聚乙烯催化剂的制备过程中需要分步进行，并且受载体孔结构及待负载组分溶解能力等因素限制，催化剂活性组分在载体上的有效负载量较低，进而导致由现有的负载型聚乙烯催化剂载体制备的负载型聚乙烯催化剂的催化活性差原料转化率不高，且所得聚乙烯产品的外观形貌及加工流动性较差的缺陷，提供一种乙烯聚合的方法和由该方法制备得到的聚烯烃。