抚顺石化聚乙烯RP100N燃气管水管工程管道 2022已更新（当日/答复）

在17mmX 17mm的大小的（100)面取向的Si基材上，依次层叠 SiO2层、TiO2层及Pt层 (顶层KPt层在氩气气氛下，在室温下溅射Pt源，成膜之后，没有在氩气气氛中进行热处理。 将该基板（以下，称为Pt板。）载置于在300°C下进行加热的加热板上1分钟，并在大气中进行 预先烘干。该预先烘干后，冷却Pt基板，立即通过热脱附气体分析法(Thermal Desorption Spectroscopy，以下，称为TDS法)测定吸附于Pt基板表面的分子种类。

能够举出La或Ni的各金属元素的金属羧酸盐、金属硝酸盐、金属醇盐、金属二醇络 合物、金属三元醇络合物、金属二酮络合物、金属二酮酯络合物、金属亚氨基酮络合 物或金属氨络合物。具体而言，作为成为La源的LaNiO 3前驱体（以下，有时表示为La原料）， 能够举出乙酸镧、辛酸镧、2-乙基己酸镧等金属羧酸盐、硝酸镧等金属硝酸盐、异丙醇镧等 金属醇盐、乙酰丙酮镧等金属β-二酮络合物等。并且，作为成为Ni源的LaNiO 3前驱体（以下， 有时表示为Ni原料），能举出乙酸镍、辛酸镍、2-乙基己酸镍等金属羧酸盐等金属硝 酸盐、乙酰丙酮镍等金属β-二酮络合物等。其中，从溶解于溶剂的溶解度的高低或保存稳定 性等方面考虑，LaNiO 3前驱体中，优选成为La源的LaNiO3前驱体或成为Ni源的LaNiO3前驱体 中的至少一方为乙酸盐或硝酸盐。

La源、Ni源为水合物的情况下，可以通过预先加热 等方法进行脱水处理之后使用，也可以在合成前驱体的过程中通过蒸馏等方法进行脱水。 [0029] 将相对于LaNiO3前驱体、有机溶剂及稳定剂的总计100质量％而言，LaNiO3前驱体 (La源与Ni源的总计）的混合比例以氧化物换算限定在1~20质量％的范围内是因为，当 LaNiO3前驱体的比例小于1质量％时，涂布膜的膜厚过于变薄，因此会有在膜中产生龟裂的 不良情况，而超过20质量％时，产生前驱体的析出（沉淀)等而保存稳定性变差。另外，以氧 化物换算的比例是指，在假设组合物中所包含的金属元素全部变成氧化物时，LaNiO 3前驱 体、有机溶剂及稳定剂的总计100质量％中所占的金属氧化物的比例。并且，成为La源的 LaNiO3前驱体或成为Ni源的LaNiO3前驱体的混合比优选设成La元素与Ni元素的金属原子比 (La/Ni)为1:1的比例。

以与上述 相同的条件对上述Pt基板进行预先烘干，无需放置于大气中，而立即将Pt基板移动到旋转 涂布机上，在Pt基板上旋涂表1所示的组合物No. 1。接着，将上述基板移动到在65°C下进行 加热的加热板上并在此干燥1分钟，而且移动到450°C下加热的加热板上，并临时烧结5分 钟。将临时烧结后的膜快速加热(RTA)至800°C，由此在氧气气氛下烧成5分钟而形成LaNiO 3 薄膜。