被Pt电极包覆的基板被放置于大气气氛下，因此与存在于空气中的成分接 触，并将这些成分吸附在表面上。为了从基板表面脱附这些成分，预先烘干该基板。预先烘 干是在后述的烧成工序中进行的烘干之前进行的。本发明的基板的预先烘干如下进行，即 在大气气氛下，以200 °C以上，优选以200 °C以上且400 °C以下的温度，1分钟以上，优选1分钟 以上且5分钟以下的时间，将大气中的基板载置于加热板上、或者投入到电炉等。若在上述 温度及时间的范围内进行预先烘干，则吸附于基板表面的Η 2、Η20及⑶脱附，出量会落入1.0 X 10_1()g以下的范围，H2O量会落入2.7 X l(T1()g以下的范围，CO量会落入4.2 X l(T1()g以下的 范围。若在该状态下将LaNiO3薄膜形成用液体组合物涂布于基板表面，则由于基板表面的H 2 量、H2O量及CO量较低，因此会引起液体组合物中的水溶性成分的溶剂在基板表面上表面张 力变小的现象，从而均匀地涂布液体组合物。另一方面，预先烘干温度及时间小于上述下限 值时，由于吸附于基板表面的H2量、H 2O量及CO量没有落入上述范围，因此若在该状态下将 LaNiO3薄膜形成用液体组合物涂布于基板表面，则不会引起上述现象。因此，不能均匀地涂 布液体组合物，并在涂膜中产生针孔。将上述预先烘干温度的优选的上限值设为400°C，将 预先烘干时间的优选的上限值设为5分钟以下是因为，即使分别超过上限值，上述脱附效果 也不会改变，反而会浪费热能。另外，吸附于基板表面的H 2量、H2O量及CO量越少越优选，但极 度减少基板表面的H2量、H 2O量及CO量会导致成本的增加。因此，吸附于基板表面的H2量、H2O 量及⑶量可分别设为2X10-12g以上、7.2X10-ng以上、1.2X 10-1Qg以上。并且，可以将吸附 于基板表面的H2量、H2O量及CO量分别设为2 X 10-12~9 · 8 X 10-ng、7 · 2 X 10-11~2 · 5 X 10-1Qg、 1.2 X 10-1(3~3.9 X 10-1Qg，但并不限定于此。