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一种光学透过率高、雾度低、表面方阻低的透明导电薄膜。本发明的另一目的提供该透明导电薄膜的制备方法。为达到上述目的之一,本发明采用以下技术方案:一种透明导电薄膜,包括透明导电油墨和基材,按照重量份数,所述透明导电油墨包括0.5~50份纳米银线分散液、15~35份聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)、5~40份有机溶剂、5~40份去离子水、1~8份二甲基亚砜、0.1~5份粘度调节剂、0.01~1份pH调节剂、0.01~2份表面活性剂、0.01~1份流平剂、0.1~0.5份附着力促进剂。进一步地,所述纳米银线分散液为纳米银线分散于甲醇、乙醇、异丙醇、正丙醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇、水、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚或丙二醇丁醚而得。

典型的有碳纳米管、石墨烯、纳米银线、金属网格透明导电薄膜,其中在成本、性能、可量产方面具优势的便是纳米银线透明导电薄膜。目前基于纳米银线的透明导电薄膜已有多项专利申请,但实际图形化透明导电薄膜工艺仍沿袭ITO减成法工艺,先在基材上满版涂布、干燥得到透明导电膜,然后经过掩膜、曝光、显影、蚀刻、水洗等步骤,终制得图形化透明导电膜。由于过程复杂、良率低、成本高昂,所得终的导电薄膜的性能也有待提高,因此极大地限制了纳米银线替代ITO的进程。

该透明导电膜存在透光率偏低、雾度偏高的特点,且透明导电层使用涂布工艺,无法图形化。图形化透明导电薄膜的意义在于以往ITO生产厂商只能提供满版导电的薄膜的,下游客户需自行蚀刻出想要的图案。而跳出该传统框架,让客户定制图案,并印制相对应透明导电薄膜,可省去生产加工的掩膜、曝光、显影、蚀刻、水洗等环节,不仅环保节约、高效,且可大限度保证其稳定性。因此开发通过简便、高效的丝网印刷工艺实现图形化透明导电薄膜的生产制备方法,以及性能优异的透明导电薄膜就显得非常迫切和重要。

在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。通常采用一PECVD反应器5,在PECVD反应器5内设置至少四个反应基座6,每个反应基座6上分别设有具有温控装置,晶元1放置在反应基座6上,在晶元1的上下两侧分别设置上电极和下电极,所述上电极和所述下电极分别连接高频功率源和低频功率源以在PECVD反应器5内形成等离子体,利用等离子体放电促使气体分子的分解、化合、促进反应活性基因(次生分子)生成,同时为扩散至衬底表面的次生提供能量,使它们在没有高衬底温度条件下进一步沿衬底表面扩散形成薄膜。

随着物质水平的日益提高,消费者对电子产品的要求往轻薄化和柔性化、可视化的方面快速发展。柔性显示技术使显示器具有能够弯曲或卷曲成任意形状的特性,有轻、薄且方便携带等特点。现有市场上的个人消费电子产品主要使用的是氧化铟锡(ITO)等硬质无机氧化物材料作为手机触摸屏、太阳能、电磁屏蔽、LED显示器、电致发光器件、薄膜开关、冷光片等产品的核心部分。氧化铟锡因其脆性大且难以实现弯曲的缺陷,难以在柔性光电器件中应用。加上氧化铟锡的加工成本高、能耗大,图形化需要经过掩膜、曝光、显影、蚀刻、水洗等繁琐工艺步骤。因此近数十年,围绕替代ITO透明导电薄膜的研究、应用层出不穷。






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