燕山石化高熔指聚乙烯1620J

一种氮化铝薄膜的制备方法，其通过使用mocvd生长的氮化铝或/铝镓氮层与掺杂铝镓氮层的周期结构替代溅射氮化铝，可以减小退火氮化铝薄膜的应变，从而改善制作器件的发光效率，以及阈值电压。在本实用新型实施例中，所述薄膜缠绕模组配置于对叠片进行薄膜缠绕，使用时，所述薄膜放置件的薄膜通过所述薄膜进口放置在所述收膜模组上，将叠片放置在所述缠绕平台上，进一步使得所述叠片下压模组下压在叠片的极耳上，进一步所述回转驱动模组带动所述回转体进行旋转，使得所述薄膜放置件绕着所述缠绕平台的叠片进行旋转，使得薄膜缠绕在叠片上，缠绕到后一圈的过程中，所述收膜模组扯断薄膜后进一步完成缠绕，所述薄膜缠绕模组的自动设计使得本实用新型能够提高生产效率，降低生产成本，所以，本实用新型具有使用方便及提高生产效率的优点。

薄膜缠绕模组包括薄膜缠绕基座，所述薄膜缠绕基座上设置有收膜模组、缠绕平台、回转驱动模组及叠片下压模组，所述收膜模组及所述叠片下压模组均与所述缠绕平台相配合，所述回转驱动模组上配合设置有回转体及薄膜放置件，所述回转体中开有回转腔，所述收膜模组及所述缠绕平台均位于所述回转腔的中部，所述回转腔的侧端开有与所述薄膜放置件相配合的薄膜进口。

所述x轴移动模组上滑动配合有叠片夹紧上料模组，所述第二x轴移动模组上滑动配合有旋转气缸，所述旋转气缸上配合设置有直线移动模组，所述直线移动模组上滑动配合有叠片运输模组，所述叠片运输模组与所述叠片夹紧上料模组相配合，所述薄膜缠绕模组配合设置在所述第二x轴移动模组的末端。

一般是在衬底上溅射50nm～500nm的氮化铝缓冲层，然后在1300℃～1700℃退火温度下进行高温退火以得到氮化铝薄膜。但是，由于氮化铝与衬底之间存在晶格失配及热失配，现有技术得到的氮化铝薄膜存在应变较大的问题。这样，后续在氮化铝薄膜上制作发光器件时，较大的应变会降低器件的发光效率，以及增加阈值电压。