燕山石化聚丙烯B4902-GD医用透明注塑料

本发明亦可扩大应用在取得波峰信号在一固定比例高度的高度值(例如波峰信号的四分之三

高度的高度值、三分之二高度的高度值或其它比例高度的高度值)，然后取得波峰信号在该高度位置的宽

度值或取得该波峰信号在该高度位置的截面积，再将上述的高度值除以上述的宽度值或将上述的高度值除

以上述的截面积，所得到的数值亦可以表示成薄膜表面的尖锐度。

将波峰信号于一半高度的高度值(H)除以波峰信号于一半高度的宽度值(D)，即为此

薄膜表面的尖锐度，或是将波峰信号于一半高度的高度值(H)除以波峰信号于一半高度的截面积(A)，亦可

以表示薄膜表面的尖锐度，其数学式如下所列尖锐度＝(H/D)或是尖锐度＝(H/A)

H波峰信号于一半高度的高度值D波峰信号于一半高度的宽度值A波峰信号于一半高度的截面积在计算出薄

膜表面的尖锐度之后，即可以判断此尖锐度是否小于一标准值(步骤108)。倘若此尖锐度小于标准值，则

表示此薄膜表面的粗糙度符合标准，倘若此尖锐度大于标准值，则表示此薄膜表面的粗糙度过大而不符合

标准。

本发明的分析薄膜表面粗糙度的方法可以应用在任何薄膜的检测上。以下的实施例为例举有机发光二极管

的氧化铟锡电极膜表面粗糙度的分析来作详细说明，但并非用以限定本发明。

由于有机发光二极管的氧化铟锡电极膜表面的粗糙度，会影响有机发光二极管元件的表现以及有机发光二

极管的寿命。因此氧化铟锡电极膜表面的平整度对有机发光二极管元件而言是相当重要的。因为有机发光

二极管元件中，有机发光层所需的电流是由铟锡氧化层来传导，因此若是氧化铟锡膜的表面尖锐程度太大

电流可能会因放电的效应，而使区域的有机发光层承受较大的电场与电流，如此非但会影响元

件发光均匀度的表现，而且区域的有机发光层降级的情况可能会提早发生，而影响元件的寿命。

为了有效掌握有机发光二极管元件的氧化铟锡电极膜表面之粗糙度，在氧化铟锡电极膜的溅镀工艺执行完

之后，可以利用上述的方法(如图1所示)，来监测氧化铟锡电极膜表面的粗糙度。其中以波峰信号一半高

度的高度值(H)除以一半高度的宽度值(D)的尖锐度(H/D)的实施例中，倘若后计算出来的尖锐度值小于

0.015，则表示此氧化铟锡电极膜的粗糙度有符合标准。如此，才能确保有机发光二极管的元件表现以及

寿命会有较佳的表现。

析薄膜表面粗糙度的方法确实可以真实的反映出薄膜表面的粗糙度，因此，本

发明的方法可以改善公知方法会有将两种粗糙度误判成具有相同粗糙度的缺点。

权利要求

1.一种分析薄膜表面粗糙度的方法，其特征是，该方法包括扫描一薄膜表面，以取得该薄膜表面的一波峰

信号；取得该波峰信号在一固定比例高度的一高度值；取得该波峰信号在该固定比例高度位置的一宽度值

；将该高度值除以该宽度值，即为该波峰信号的一尖锐度；以及倘若该该波峰信号的该尖锐度小于一标准

值，即表示该薄膜表面粗糙度符合标准。

2.如权利要求

1所述的分析薄膜表面粗糙度的方法，其特征是，该薄膜包括一氧化铟锡薄膜。