LDPE燕山石化聚乙烯H188

虚拟等离子体阴极在靶材前面短暂出现，通过电子束将靶材消融，然后消失并允许消融的靶材向衬底流去，在衬底那里凝结形成薄膜。靶材消融后以等离子体羽流的形式，从位于具有虚拟阴极等离子体部分的靶材表面向外扩散流出。这样，由于限制电子束源时间的因素-由靶材消融带来的阴极污染运是可避免的，因为阴极是一个虚拟的阴极，由等离子体形成，它不能像常规的固体材料阴极一样被污染。

提供了一种薄膜沉积装置，包括，一空心阴极、一衬底托架和一靶材托架，所述衬底托架和所述靶材托架相对设置在所述空心阴极两侧，一等离子体供应元件，用于在所述空心阴极的端部靠近所述靶材托架时向所述空心阴极内部提供等离子体，和一动力单元，与所述空心阴极连接，用于给所述空心阴极提供一高压脉冲，当所述等离子体供应元件向所述空心阴极提供等离子体且所述空心阴极受到高压脉冲时，一虚拟等离子体阴极会形成，所述虚拟等离子体阴极形成一电子束，所述电子束朝向所述靶材托架上的靶材，其中被消融的靶材羽流通过空心阴极。

常见的钙钛矿吸光材料是a3pbi3(a为正1价金属离子或有机阳离子、如、甲脒fa、铯cs等中的一种或多种)，该材料的制备方法主要有四种：一步旋涂法、两步旋涂法、气相沉积法和共蒸发法。一步旋涂法，是将pbi2和ai等摩尔量溶解在r-丁内酯或二甲基甲酰胺(dmf)中，然后旋涂在基底材料上，在110℃退火1小时生成a3pbi3钙钛矿吸光薄膜材料。两步旋涂法，是将pbi2溶解在dmf中，然后旋涂于基底材料上(如电子传输层)上先旋涂制备pbi2薄膜层，然后在其表面旋涂ai的异丙醇溶液，在700～200℃下热处理4～5min，构建a3pbi3钙钛矿吸光薄膜材料，这种方法相比于种能够以很高的再现性得到转换效率更高的电池。气相沉积法是首先在电子传输层通过沉积制备pbi2薄膜层，然后将其置于氮气存在的碘化的蒸气气氛中，2小时后在电子传输层表面生成黑色ch3nh3pbi3的可获得约12.1％的电池转化效率。共蒸发法是将pbi2粉末与ai的粉末在真空下一起加热蒸发成气态，在该真空相环境内以气态互混并反应生成a3pbi3后沉积在基底材料表面。

其中溶液旋涂法是在实验室内钙钛矿薄膜的主要制备方法，其具有成本低、操控简单以及重复性高的优势，但旋涂技术本身的工艺特性限制了钙钛矿薄膜的大面积制备和规模化生产，严重制约了其商业化生产。其中一步旋涂法构建的钙钛矿薄膜存在着明显的粒径不均匀、薄膜各处的差异大等问题，导致性能偏差很大。共蒸发法、气相沉积法需要特定的真空气相沉积系统，且制备速度很慢，工艺周期长，材料利用率有限等缺点。与旋涂法类似的，相关研究人员还尝试了刮刀涂布法、狭缝涂布法、丝网印刷以及喷涂法等方法，虽然可以实现大面积、低成本和规模化的制备，但这几种方法制备的钙钛矿薄膜在光伏电池器件中的可重复性低、制得的钙钛矿薄膜的均匀性差，是保证其工艺稳定的主要限制瓶颈。尤其值得说明的是，到目前为止，文献报道的钙钛矿薄膜的结晶性也并不理想。另外有一些现有技术，是在基材上获得一层碘化铅薄膜，再浸渍到含有mai的有机溶液中反应制得ma3pbi3,但该方法需要搅动mai溶液使反应更充分，但如此操作会导致碘化铅薄膜再被溶解到有机溶剂中出现针孔或生成的薄膜不均匀；此外该含有mai的有机溶液必须是超量的，导致原材料利用率低，不能被充分利用而浪费。

为了获得更高的光电转化效率，钙钛矿薄膜必需满足一定的形态方面的要求，包括：薄膜的致密度、针孔数量、晶粒的大小和晶粒的均匀性、薄膜均匀性等，致密度越好、针孔越少、晶粒较大、晶粒均匀性越好、薄膜均匀性越好，则钙钛矿太阳能电池的光电转化效率也越高，性能更加稳定。